发明名称 SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02206746(A) 申请公布日期 1990.08.16
申请号 JP19890028293 申请日期 1989.02.06
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 HIRAMATSU YOICHI
分类号 G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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