| 发明名称 |
METHOD OF FORMING SHALLOW JUNCTION AND SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SAID SHALLOW JUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0322921(A3) |
申请公布日期 |
1990.08.16 |
| 申请号 |
EP19880121891 |
申请日期 |
1988.12.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
DOKI, MASAHIKO;TAKEI, MICHIKO |
| 分类号 |
H01L21/225;H01L29/08;H01L29/36;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/225;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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