发明名称 TEST CIRCUIT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02206773(A) 申请公布日期 1990.08.16
申请号 JP19890027276 申请日期 1989.02.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AOKI KAZUO
分类号 G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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