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发明名称 NOZZLE FOR PICKING UP CHIP OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02205041(A) 申请公布日期 1990.08.14
申请号 JP19890024897 申请日期 1989.02.02
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SAITO MINORU
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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