| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02205045(A) |
申请公布日期 |
1990.08.14 |
| 申请号 |
JP19890024270 |
申请日期 |
1989.02.02 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIUGA FUMIAKI;YAMAZAKI HAJIME;ISHIDA AKIRA |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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