发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02205027(A) 申请公布日期 1990.08.14
申请号 JP19890024890 申请日期 1989.02.02
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HIROSE TAKASHI
分类号 H01L21/304;B08B3/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址