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经营范围
发明名称
MICROWAVE PLASMA TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH02205020(A)
申请公布日期
1990.08.14
申请号
JP19890023876
申请日期
1989.02.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
FUKUYAMA RYOJI;KAKEHI YUTAKA;KAWAHARA HIRONORI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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