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经营范围
发明名称
SPUTTER ION PUMP
摘要
申请公布号
JPH02204957(A)
申请公布日期
1990.08.14
申请号
JP19890025169
申请日期
1989.02.03
申请人
JEOL LTD
发明人
YOSHIMURA NAGAMITSU;HIRANO HARUO
分类号
H01J41/12
主分类号
H01J41/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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