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发明名称 FREEMAN TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH02204940(A) 申请公布日期 1990.08.14
申请号 JP19890025076 申请日期 1989.02.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YONEUCHI MITSUO
分类号 H01J27/20;H01J37/08 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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