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发明名称
SCANNING TYPE PENETRATIVE ELECTRON MICROSCOPIC METHOD
摘要
申请公布号
JPH02204954(A)
申请公布日期
1990.08.14
申请号
JP19890023036
申请日期
1989.02.01
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
TOMITA MASAHITO;HAYASHI TAKAYOSHI
分类号
H01J37/147;H01J37/28
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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