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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02202012(A)
申请公布日期
1990.08.10
申请号
JP19890020994
申请日期
1989.01.31
申请人
NIKON CORP
发明人
SUZUKI SHOHEI;SHIMIZU HIROYASU;NAKASUJI MAMORU
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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