发明名称 MOVABLE CONTILEVER TYPE PURGING METHOD AND ELEPHANTS PIPE AND ITS PURGING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH02201919(A) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19890315115 申请日期 1989.12.04
申请人 KURAIKO TOUENTEITOUU INC 发明人 KUREON AARU IEITSU
分类号 H01L21/22;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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