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发明名称 ARSENIC DIFFUSING AGENT AND MANUFACTURE THEREOF, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING THE DIFFUSING AGENT
摘要
申请公布号 JPH02202020(A) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19890022349 申请日期 1989.01.31
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD;FURUKAWA CO LTD 发明人 KUBOTA YOSHIHIRO;NAGATA AKIHIKO;IGUCHI MASAAKI;HATANO ETSUO;SAITOU SHIGEAKI;MATSUEDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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