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发明名称 IMPURITY INJECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02201856(A) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19890022141 申请日期 1989.01.30
申请人 NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD 发明人 MIZUSAWA KENICHI
分类号 H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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