发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02201966(A) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19890021876 申请日期 1989.01.30
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MIKI AKIRA
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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