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经营范围
发明名称
SHUSEKIMOSKAIRONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JPH0235461(B2)
申请公布日期
1990.08.10
申请号
JP19800005603
申请日期
1980.01.21
申请人
SIEMENS AG
发明人
DEIITORITSUHI UITOMAN
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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