摘要 |
<p>Es handelt sich um einen dielektrischen Motor, dessen Rotor (4) von einer oder mehreren Elektroden (2a-d) umgeben ist und der im Inneren (5) eine Öffnung besitzt, in der sich eine oder mehrere Elektroden (1) befinden, um die sich der Rotor (4) bewegen kann. Mögliche Anwendungsgebiete sind in der Mikroelektronik sowie der Mikromechanik usw. gegeben. Die wesentlichen Merkmale der Erfindung bestehen darin, dass der Rotor (4) wahlweise über die inneren Elektroden (1) und/oder die ihn umgebenden Elektroden (2a-d) mit Hilfe elektrischer Felder angesteuert werden kann. Die Kombination unterschiedlicher dielektrischer Materialien bei entsprechender Geometrie des Rotors (4) in Verbindung mit der Feldanregungsart erlaubt schrittweisen, diskontinuierlichen oder gleichförmigen Lauf des Rotors (4). Die inneren Elektroden (1) führen zu einem höheren Drehmoment. Der Motor lässt sich bis auf wenige Mikrometer miniaturisieren.</p> |