发明名称 SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH02200775(A) 申请公布日期 1990.08.09
申请号 JP19890022850 申请日期 1989.01.31
申请人 DAIDO STEEL CO LTD 发明人 KANEDA YASUSHI;YAHAGI SHINICHIRO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址