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发明名称 VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINES ELEKTRISCH LEITENDEN UND/ODER NICHTLEITENDEN MATERIALS AUF EINEM GEGENSTAND.
摘要
申请公布号 DE3672378(D1) 申请公布日期 1990.08.09
申请号 DE19863672378 申请日期 1986.04.22
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ADACHI, TATSUYA;YAMAMOTO, MASAHIRO, KOTO-KU TOKYO, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/48;G01Q30/04;G01Q30/08;H01J37/317;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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