发明名称 制造阴罩的方法
摘要 制造荫罩的方法,在薄金属板的一主表面形成有大量窗口的第一阻挡图形,在另一主表面形成第二阻挡图形,它具有大于第一窗口尺寸的大量窗口,腐蚀有第一阻挡图形的表面以形成第一凹口,除去第一阻挡图形,在有第一凹口的表面形成防腐蚀层并填满第一凹口,腐蚀有第二阻挡图形的表面以形成尺寸大于第一凹口并与它相连的第二凹口,用碱性溶液处理防腐蚀层使之膨胀,用温水喷射以使除去该层,并去除第二阻挡图形。
申请公布号 CN1009142B 申请公布日期 1990.08.08
申请号 CN88102931.9 申请日期 1988.05.19
申请人 株式会社东芝 发明人 工藤诚
分类号 H01J9/14;C23F1/02 主分类号 H01J9/14
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人 赵蓉民
主权项 1.一种制造荫罩的方法,包括如下步骤:在薄金属板的主表面上形成具有大量窗口的第一阻挡图形,在另一主表面上形成第二阻挡图形,第二阻挡图形具有其窗口尺寸不同于第一阻挡图形窗口尺寸的大量窗口;腐蚀金属板上具有第一阻挡图形的表面,形成第一凹口;除去第一阻挡图形;在薄金属板上具有第一凹口的表面上形成防腐蚀层,腐蚀薄金属板上具有第二阻挡图形的表面,以形成其尺寸不同于第一凹口并与第一凹口相连的第二凹口;去除防腐蚀层;去除第二阻挡图形,其特征在于:除去防腐蚀层(20)的步骤包括用碱性溶液处理防腐蚀层(20)使其膨胀和用温水喷射防腐蚀层(20)以去除防腐蚀层(20)。
地址 日本东京