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经营范围
发明名称
HIGH-FREQUENCY CVD
摘要
申请公布号
JPH02199822(A)
申请公布日期
1990.08.08
申请号
JP19890019133
申请日期
1989.01.27
申请人
NEC CORP
发明人
HAYAMA HIROSHI
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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