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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02199828(A) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 JP19890019127 申请日期 1989.01.27
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUI SHINJI
分类号 C30B25/02;C30B29/02;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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