发明名称 DEVICE FOR OPTICAL DETERMINATION OF LOW-ORDER ERRORS IN SHAPE
摘要
申请公布号 EP0210263(B1) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 EP19860901332 申请日期 1986.02.05
申请人 OPTISCHE WERKE G. RODENSTOCK;DAIMLER BENZ AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 RAU, NORBERT;HUBNER, GERD;STAIGER, WOLFGANG;BRODMANN, RAINER;GERSTORFER, OSKAR
分类号 G01B11/26;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/952 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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