发明名称 Growth of solidified films, particularly semiconductors, from melts using a substrate with a profiled surface.
摘要 Es werden Substrate für das Aufwachsen von erstarrenden Schmelzen angegeben, die gegenüber der Substratgrundfläche erhöhte Kontaktflächen besitzen, welche so verteilt sind, daß die aufwachsende Schmelzschicht auf ihnen aufliegt und durch die Oberflächenspannung freitragend von der Grundfläche getrennt gehalten wird. Diese Substrate werden vorteilhaft für das Aufwachsen von Halbleitermaterialschichten, insbesondere auf Siliciumbasis, eingesetzt und eignen sich besonders für Verfahren zur Herstellung von Solarzellengrundmaterial, bei denen die selbsttätige Ablösung der aufgewachsenen Schicht erforderlich ist.
申请公布号 EP0381051(A1) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 EP19900101478 申请日期 1990.01.25
申请人 HELIOTRONIC FORSCHUNGS- UND ENTWICKLUNGSGESELLSCHAFT FUR SOLARZELLEN-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 BECK, ANDREAS, DR., DR. RER. NAT.;GEISSLER, JOACHIM, DIPL.ING.;HELMREICH, DIETER, DR., DR. RER. NAT.;AMBROS, GEORG, DIPL.-ING.
分类号 C03B19/00;C30B15/00;C30B19/12;H01L21/208;H01L21/368;H01L31/04 主分类号 C03B19/00
代理机构 代理人
主权项
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