发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERKAPAZITAETSDIODEN
摘要
申请公布号 DD281486(A5) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 DD19870310635 申请日期 1987.12.17
申请人 KARL-MARX-UNIVERSITAET,DD 发明人 PICKENHAIN,RAINER,DD;SCHWETLICK,STACIA,DD;SEIFERT,WERNER,DD;BIEHNE,GISELA,DD
分类号 H01L21/205;H01L29/207;H01L29/93;(IPC1-7):H01L29/93 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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