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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MESSFUEHLERN MIT PIEZORESISTIVEN WIDERSTAENDEN
摘要
申请公布号 DD281479(A5) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 DD19860297023 申请日期 1986.12.04
申请人 VEB ZENTRUM FUER FORSCHUNG UND TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 SCHUBERT,DIETRICH,DD;LORENZ,ULLRICH,DD;UHLIG,THOMAS,DD;MATTHAEI,JUERGEN,DD;VOELSKOW,MATTHIAS,DD
分类号 G01L9/06;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
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