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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG HOCHWERTIGER HOMOEPITAKTISCHER SILICIUMSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD281429(A5) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 DD19870309106 申请日期 1987.11.17
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;KUEHNE,HEINZ,DD;NEUBERT,MATTHIAS,DD;SCHMALZ,KLAUS,DD;WEBER,CHRISTIAN,DD
分类号 C30B23/02;H01L21/20;H01L21/36;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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