| 发明名称 |
WORKPIECE SUPPORTING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0342040(A3) |
申请公布日期 |
1990.08.08 |
| 申请号 |
EP19890304792 |
申请日期 |
1989.05.11 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HARA, SHINICHI;UZAWA, SHUNICHI |
| 分类号 |
G12B5/00;F16F15/02;G03F7/20;G05D19/02;G12B9/08;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/687;H01L41/04;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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