热偶器

摘要

本发明提供一种量测于化学气相沉积反应器中被处理之基板邻近位置的温度之热偶器。热偶器包含具有量测尖端之护套。热偶器亦包含置于护套中之支撑管。热偶器更包含由支撑管所支撑之第一及第二接线。第一及第二接线由不同金属形成。接面形成于第一及第二接线之间，其中接面位于邻近支撑管之远端。弹簧置于支撑管之部分附近。弹簧受压缩以施加弹簧力于支撑管，以使接面偏向量测尖端，而使接面连续接触量测尖端。弹簧力够小到使接面避免显着变形，以及降低热偶器彼此间的弹簧力或接面位置的变异。