摘要 |
一种有效离子束中和化用之相称尖场技术在一实施例中可实现为带电粒子注射系统,其包括:光束导引器,经组态以输送离子束经过偶极场;第一磁体阵列及第二磁体阵列,经组态以产生沿离子束路径之至少一部分定位的多尖磁场,第一磁体阵列在离子束路径之第一侧上,第二磁体阵列在离子束路径之第二侧上;带电粒子源,具有一或多个经组态以将带电粒子注射至离子束路径中的孔;以及将一或多个孔与第一磁体阵列及第二磁体阵列中之至少一者对准,以使自带电粒子源注射之带电粒子与一或多个磁性区域对准,以用于使带电粒子有效地扩散至离子束路径中。 |