| 摘要 |
提供一种表面检查装置，可藉由增加用于图案之缺陷判定的资讯量提升缺陷检测精度。从光源1所射出之发散光系藉由偏光件2转换成直线偏光，并藉由凹面镜3成为大致平行光，以照明属被检查基板之晶圆4整体。藉由晶圆4而正反射之光系藉由图案13所具有之结构性双折射而受到偏光状态之变化。此处，由于图案13之结构双折射所产生之偏光状态变化系依该图案13之状态，例如线宽或截面之梯形度或边缘粗糙度等而异，因此可使用于图案之缺陷检查。由于照明光之斯托克斯参数(stokes parameters)为已知，因此若测量被反射之光的斯托克斯参数，即可得知该图案13之偏光状态的变化量。 |
