基板处理装置

摘要

本发明的基板处理装置系具备有：基板旋转单元、刷子、及周缘清洗液吐出单元；其中，该基板旋转单元系用来使基板进行旋转；该刷子系对利用上述基板旋转单元进行旋转的基板，至少抵接于基板表面的周缘区域；该周缘清洗液吐出单元系对基板表面周缘区域中的上述刷子所接触到的区域，朝在基板旋转方向下游侧而隔有间隔的既定清洗液吐出位置，从较该既定清洗液吐出位置更靠基板旋转半径方向的内侧，吐出清洗液。