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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR ANALYZING DEFECT IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH02198347(A)
申请公布日期
1990.08.06
申请号
JP19890016131
申请日期
1989.01.27
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANABE YOSHIKAZU;OWADA NOBUO
分类号
G01B11/24;G01N25/72;H01L21/66
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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