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发明名称 SILICON WAFER WITH PROTECTIVE FILM AND METHOD OF FORMING PROTECTIVE FILM OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH02198140(A) 申请公布日期 1990.08.06
申请号 JP19890018318 申请日期 1989.01.27
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 KIRINO YOSHIO;OGAWA YOJI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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