| 发明名称 |
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02198134(A) |
申请公布日期 |
1990.08.06 |
| 申请号 |
JP19890018406 |
申请日期 |
1989.01.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKAMOTO YOSHIHIKO;MURAKISHI TAKEO |
| 分类号 |
F16L59/147;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
F16L59/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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