| 发明名称 |
SCAN PERMEATION TYPE PHASE DIFFERENCE ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02197050(A) |
申请公布日期 |
1990.08.03 |
| 申请号 |
JP19890015590 |
申请日期 |
1989.01.25 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
TSUNO KATSUSHIGE;INOUE MASAO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/295 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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