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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02196430(A) 申请公布日期 1990.08.03
申请号 JP19890015737 申请日期 1989.01.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NEMOTO YOSHIHIKO;NAKAO SHIN;HASHIMOTO TOMOAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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