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发明名称 ELECTRODE FORMING METHOD FOR SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02196421(A) 申请公布日期 1990.08.03
申请号 JP19890015710 申请日期 1989.01.25
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OTA KIYOSHI;NAKADA TOSHITAKE
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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