发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR MIRROR SURFACE WAFER
摘要
申请公布号 JPH02196413(A) 申请公布日期 1990.08.03
申请号 JP19890015856 申请日期 1989.01.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OYAMA YOSHINOBU
分类号 B28D5/00;H01L21/02 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
地址