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发明名称
DUENNSCHICHTMATERIAL FUER SENSOREN ODER AKTUATOREN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE3902628(A1)
申请公布日期
1990.08.02
申请号
DE19893902628
申请日期
1989.01.30
申请人
HAUNI ELEKTRONIK GMBH, 2050 HAMBURG, DE
发明人
FISCHER, HELMUT, DIPL.-ING., 2000 HAMBURG, DE;MUELLER, JOERG, PROF. DR., 2110 BUCHHOLZ, DE
分类号
C23C16/30;G01L9/00;H01H1/00;H02N1/00
主分类号
C23C16/30
代理机构
代理人
主权项
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