| 发明名称 |
SPIN-COATING METHOD, APPARATUS AND PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02196049(A) |
申请公布日期 |
1990.08.02 |
| 申请号 |
JP19890292514 |
申请日期 |
1989.11.13 |
| 申请人 |
E I DU PONT DE NEMOURS & CO |
发明人 |
ROBAATO SHIYAAUTSUDO HETSUKUROTSUTO |
| 分类号 |
C03C25/10;B05C3/12;B29B15/12;C03C25/12;C03C25/18 |
主分类号 |
C03C25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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