| 发明名称 |
MULTI-SOURCE VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02196008(A) |
申请公布日期 |
1990.08.02 |
| 申请号 |
JP19890013921 |
申请日期 |
1989.01.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUKAMOTO AKIRA;AIDA TOSHIYUKI;IMAGAWA KAZUSHIGE;FUKAZAWA TOKUMI;MIYAUCHI KATSUMI |
| 分类号 |
C01B13/28;C01B13/20;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/24;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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