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发明名称
PATTERNING PROCESS OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH02194673(A)
申请公布日期
1990.08.01
申请号
JP19890014731
申请日期
1989.01.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
BOKU KEIKOU;YOSHIKAWA KOTA
分类号
H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24
主分类号
H01B12/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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