发明名称 Preparing a micro-section in a sample for observation
摘要
申请公布号 GB2227601(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 GB19890026900 申请日期 1989.11.28
申请人 * SEIKO INSTRUMENTS INC 发明人 TAKASHI * KAITO;TATSUYA * ADACHI
分类号 G01N23/04;G01N1/32;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/66 主分类号 G01N23/04
代理机构 代理人
主权项
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