发明名称 |
Preparing a micro-section in a sample for observation |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2227601(A) |
申请公布日期 |
1990.08.01 |
申请号 |
GB19890026900 |
申请日期 |
1989.11.28 |
申请人 |
* SEIKO INSTRUMENTS INC |
发明人 |
TAKASHI * KAITO;TATSUYA * ADACHI |
分类号 |
G01N23/04;G01N1/32;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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