发明名称 MANUFACTURE OF SUPERCONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH02194568(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890013112 申请日期 1989.01.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIRASAKI MASAHIRO
分类号 C30B29/22;C22F1/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/20;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;H01L39/24 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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