| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR MATERIAL DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4846990(A) |
申请公布日期 |
1990.08.01 |
| 申请号 |
AU19900048469 |
申请日期 |
1989.12.27 |
| 申请人 |
SYMETRIX CORPORATION |
发明人 |
LARRY D. MCMILLAN;CARLOS A. PAZ DE ARAUJO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/515;C23C16/52;C23C18/12;C30B7/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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