Device for determining the point of impact on a target of a charged-particles beam.

摘要

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle (29, 37) eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target. Diese Einrichtung weist zwei positionsempfindliche Detektoren (22, 23) oberhalb des Targets auf, die einen vorgegebenen Abstand voneinander und von dem Target haben und auf denen über Abbildungssysteme (24, 25) die Auftreffstelle (29, 37) des Ladungsträgerstrahls mittels Röntgenstrahlen abgebildet wird. Die Ausgangssignale dieser Detektoren (22, 23) werden auf eine besondere Auswerte-Einrichtung gegeben, welche alle drei Raum-Koordinaten der Auftreffstelle (29, 37) des Ladungsträgerstrahls ermittelt.