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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02194628(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890014442 申请日期 1989.01.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 AKIBA MASAKUNI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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