| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INDIUM ANTIMONIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02194623(A) |
申请公布日期 |
1990.08.01 |
| 申请号 |
JP19890015351 |
申请日期 |
1989.01.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOJIMA SHIGERU;KORECHIKA AKIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/208;H01L21/203;H01L43/08;H01L43/12 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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