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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02194872(A)
申请公布日期
1990.08.01
申请号
JP19890013433
申请日期
1989.01.23
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK
发明人
MURAKAMI MASAAKI;TAKEKUMA TAKASHI
分类号
B05C11/08;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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